东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日，由发达国家作为国内集成电路互联网+创新创业大赛创新火箭队 主办的”2022集成电路产业链协同创新快速发展交流会”以六大会场加图片来源来源连线的多种途径同步日举行。腾讯体育集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科互联网+创新创业大赛研院所的千余位作为参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海钱先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型互联网+创新创业大赛技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），取得新型技术创新奖。

　　“IC创新奖”由发达国家作为国内集成电路创新火箭队 主办，面向作为国内集成电路产业链上下游企事业单位工作征集，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游持续性合作 ，是集成电路产业互联网+创新创业大赛最最最重要 性性的新型技术奖项做为，不仅新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和最最重要 性新型技术开发诸多方面取得重大突破的单位工作和大团队 。该次摘得行业内重磅赛事的最最重要 性性奖项，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测技术领域的新型技术整体实力和行业内的高度保持认可。

　　检测是芯片互联网+创新创业大赛制造厂商从而增强良率的最最重要 性手段。电子束检测设备它具超高精度，在高端芯片制造经历过程发挥的功效更加 大。由于目前，该类设备被作为国内厂商垄断，做为制约发达国家芯片制造自主可控的最最重要 性瓶颈。东方晶源数年磨剑，失败研收到作为国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供更多完整的纳米级缺陷检测和深度分析难题方案。由于由于目前开展发达国家头部芯片制造厂商产线验证，验证结果呢表明再就 指标与作为国内一线对标机台不高达 同等整体水平，失败难题发达国家在电子束检测技术领域的最最重要 性新型技术难题。

　　东方晶源在电子束检测、量测技术领域已深耕多年并失败即将推出多款设备，取得重大突破。除该次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸最最重要 性尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于下半年6月进人产线验证，由于目前失败完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异消费需求按照要求 ，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于下半年3月进人产线验证，由于目前结果呢 进人准客户产线小规模试产。不仅，东方晶源还于近几个月 公开发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），由于目前该设备工程机（Alpha机）结果呢 开展首轮wafer demo，也可以以消费需求28nm及不不高达 和制程消费需求，Beta机集成工作时加速推进中，已取得准客户订单，进人产线验证指日可待。

　　做为几家聚焦集成电路良率管理技术领域，以从而增强芯片制造门槛为使命的半导体企业自身，东方晶源依旧以研发创新为快速发展核心，随着丰富系列产品 矩阵并从而增强系列产品 性能，填补多项作为国内空白。将来，东方晶源将仍然立足一体化相关软件品台和检测装备两大技术领域，以准客户为三大中心，以当前市场为导向，随着开展新型技术突破与系列产品 创新，与发达国家集成电路产业上下游企业自身勠力同心，推动发达国家集成电路制造产业仍然高速快速发展。